高精度小量程氣體體積流量計：精準測量微小氣體流量的專業(yè)設備

發(fā)布：2025-12-10 | 點擊：人次

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在科研實驗室、半導體制造、生物醫(yī)藥等領域，氣體流量測量的精度要求極高。而層流壓差式高精度小量程氣體體積流量計，正是這些領域不可或缺的測量工具。它憑借其獨特的測量原理和精密設計，為微小、潔凈氣體流量的精確測量與控制提供了可靠的解決方案。

核心原理：層流與壓差的結(jié)合

這種流量計的核心在于其內(nèi)部的精密層流元件，通常是細長的毛細管或密集的微通道陣列。當潔凈氣體流經(jīng)此元件時，流動被強制維持在層流狀態(tài)。在層流狀態(tài)下，氣體分子平行、有序地流動，各層之間互不干擾。此時，根據(jù)流體力學的原理，氣體在流經(jīng)這個固定尺寸的層流元件時，會在其入口和出口之間產(chǎn)生一個壓力差（壓差）。最關鍵的是，在層流條件下，這個壓差的大小與氣體的體積流量成正比關系。

實現(xiàn)高精度的關鍵要素

僅僅利用層流壓差原理還不夠，實現(xiàn)真正的高精度測量還需要多項關鍵技術的支撐：

1. 精密制造：層流元件的幾何尺寸必須被極其精確地加工和控制，確保其穩(wěn)定性和一致性。

2. 高靈敏度壓差傳感：采用先進的微壓差傳感器，能夠精準捕捉微小流量下產(chǎn)生的微弱壓差信號。

3. 實時溫度與壓力補償：氣體的粘度會顯著受溫度影響，而體積流量本身也與絕對壓力有關。因此，流量計內(nèi)置高精度的溫度傳感器和壓力傳感器，由微處理器實時采集數(shù)據(jù)并進行動態(tài)計算補償。

4. 先進的信號處理：微處理器負責采集原始傳感器信號、執(zhí)行復雜的補償算法，并輸出穩(wěn)定、精確的流量值。

核心優(yōu)勢：小量程、高精度、寬量程比

這種流量計具有以下核心優(yōu)勢：

1. 小量程：專為測量微小氣體流量而設計，量程下限可低至幾毫升/分鐘。

2. 高精度：得益于層流的線性物理特性、精密制造和先進的補償技術，這類流量計通常能達到 ±(0.8% - 1.5%) 讀數(shù)。

3. 寬量程比：量程比（最大流量與最小流量之比）可輕松達到 10:1, 50:1, 100:1 或更高。

總結(jié)